真空固化爐是一種用于半導體晶圓制造過(guò)程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專(zhuān)用設備，烘箱溫度最高可達450°c 固化爐的工作原理和操作流程：
1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源，利用風(fēng)機對加熱總成對流換氣的方式加熱空氣，通過(guò)熱空氣與物料的熱量傳遞，空氣通過(guò)進(jìn)風(fēng)口不斷補充，濕空氣排出箱外，使爐內的溫度不斷提高，模具逐漸預熱。 操作程序。
2、固化爐開(kāi)機前準備
?、賺徫徊僮魅藛T開(kāi)機前首先必須熟悉本機的結構性能、工作原理、調整方法、操作方法及保養知識。
?、跈z查設備的狀態(tài)標志及衛生清潔狀況。
?、蹤z查電器系統是否完好，電動(dòng)機是有無(wú)受潮漏電。
3、固化爐操作過(guò)程
?、偈紫葘⑴_車(chē)及爐內部清洗干凈。
?、诖蜷_(kāi)供電設備電源開(kāi)關(guān)、打開(kāi)設備“電源開(kāi)關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
?、鄞蜷_(kāi)爐門(mén)，將模具及物料放上臺車(chē)推入烘爐內，關(guān)閉爐門(mén)。
?、茉O定烘爐溫度，并打開(kāi)烘爐“風(fēng)機”及“升溫”按鈕。
?、葸_到固化時(shí)間打開(kāi)爐門(mén)，將臺車(chē)推出爐門(mén)，取出固化后的物料。
?、蕻敼ぷ鹘Y束時(shí)，分別關(guān)閉“升溫”和“風(fēng)機”按鈕，使加熱系統、鼓風(fēng)系統停止工作。
?、咦詈箨P(guān)閉“電源開(kāi)關(guān)”旋鈕，合上總閘，打開(kāi)爐門(mén)，取出已烘干的物料，工作程序結束。
4、固化爐操作注意事項
?、俸鏍t安裝場(chǎng)地應平整、光滑。
?、陔娖骺刂迫藛T有專(zhuān)業(yè)的管理和維修;當爐箱不用時(shí)，應切斷電源，確保安全。
?、矍形饘⒁兹家妆锲贩湃牒鏍t內，以免發(fā)生安全事故。
以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程，希望以上知識對您有所幫助！
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