無(wú)塵無(wú)氧烤箱是一種專(zhuān)為高潔凈度、低氧環(huán)境需求設計的工業(yè)設備,主要應用于需要避免氧化、污染或化學(xué)反應的精密制造和科研領(lǐng)域。
1. 技術(shù)原理與關(guān)鍵設計
無(wú)塵控制
通過(guò)多級高效空氣過(guò)濾系統(如HEPA過(guò)濾器)和正壓環(huán)境設計,阻止外部灰塵進(jìn)入。內部循環(huán)風(fēng)經(jīng)多次過(guò)濾,確保潔凈度達到Class 100甚至更高(每立方英尺空氣中粒徑≥0.5μm的粒子≤100個(gè))。
無(wú)氧控制
采用惰性氣體(如氮氣、氬氣)置換技術(shù),通過(guò)氣體循環(huán)系統排出氧氣,使氧濃度降至1%以下甚至更低。部分設備支持動(dòng)態(tài)調節氧含量,適應不同工藝需求。
溫度均勻性
通過(guò)熱風(fēng)循環(huán)、導流板設計或真空環(huán)境實(shí)現精準控溫(±1℃以?xún)?,避免局部溫差導致產(chǎn)品缺陷。
2. 關(guān)鍵參數選型要點(diǎn)
潔凈度等級:根據需求選擇ISO Class 5-8(對應粒徑0.1-5μm的粒子控制)。
氧濃度范圍:從ppm級(如<10ppm)到百分比級(如<0.1%)。
溫度范圍:常溫至高溫(如RT+10℃~500℃)。
氣體接口:是否支持氮氣/氬氣快速接頭,氣體消耗量估算。
自動(dòng)化功能:氧濃度實(shí)時(shí)監控、數據記錄、報警系統。